24 Continuous use possible up to 80 Stable inner seal performance achieved with nonrotating rod (Patent pending) Zero particle generation realized with optimum seal structure and improved surface roughness Valve dead space minimized Electropolished finish specifications Handle position and top indicator indicate whether the valve is open or closed. Panel installation possible Inner seal performance stabilized with spring High corrosion resistant Ni-Co alloy diaphragm JXR joint connection *1 Standard (male and female) and double barbed joints OGD10V OGD20V Working fluid Working pressure range…
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118 Manual valve for high vacuum MVB 0 Series •Formed bellows •Handle 5 6 7 Custom order Model No. Actuation Orifice MVB70 Manual ø50 Model No. Actuation Orifice MVB50 Manual ø24 MVB60 Manual ø40 •Long-life formed bellows Special, stainless steel material (ASL-350) provided. Corrosion resistance is outstanding. •Low dust generation Wetted areas (flow path) have no sliding sections that may generate particles. •Handle •Usable with back pressure The vacuum pump can be connected to either port. MVB60 MVB70MVB50 Working fluid Working pressure range Pa(abs) Maximum working differential pressure MPa…
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Chemical liquid manual valve/toggle valve MMD Overview This chemical liquid manual valve for semiconductor manufacturing equipment is available in 1/8 inch to 1 inch port sizes and different operations. Features The spring seal provides stable sealing. (MMD**2, GMMD**2, TMD series) Assorted fitting variations The easy-to-read indicator enables open/close status to be checked visually. No harmful polyvinyl chlorides No harmful polyvinyl chlorides generating toxic chlorine-based gases are used in actuator material. (MMD*02, GMMD*02 Series) Precautions Intro 7 2 port valve MMD*02 PFA body 76…
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119 C C B B A E D 1 2 3 4 5 6 7 11 12 15 13 14 18 10 9 8 16 17 No. Parts name Material No. Parts name Material Hexagon socket set screw Handle Manual rod Adaptor Bellows assembly O ring Body assembly E snap ring Spring washer SUS304 SUS303 A2011 ASL350,SUS316 FKM SUS304 SUS304 SUS304 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Rod Spring washer C snap ring Valve disk A O ring Rod piece Valve disk B Flat headed cross cut screw Cross headed bolt SUS316 SUS304 SUS304 SUS316 FKM SUS304 SUS316 SUS304 SUS304 10 11 12 13 14 15 16 17 18 How to order Symbol Model No. MVB50 MVB60 MVB70 Fully open 175 205 252 Fully closed 160 185…
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スティックスリップのない滑らかな動き スーパーファンロータリ 軸タイプ SFRシリーズ テーブルタイプSFRTシリーズ Rotary actuator shaft type SFR Series/table type SFRT Series CC-984 3 1 スーパーファンロータリ 軸タイプ SFR Series スーパーファンロータリ テーブルタイプ SFRT Series ●サイズ：3・10・20 JIS 記号 仕様 サイズ 実効トルク 注1 90° N･m 180° 使用流体 作動方式 90° 180° 最高使用圧力 MPa 最低使用圧力 MPa 保証耐圧力 MPa 周囲温度 ℃ 接続口径 許容吸収エネルギー mJ 給油 内部容積 cm3 製品質量 90° g 180° g 許容ラジアル荷重 注2 N 許容スラスト荷重 注2 N 許容モーメント N･m 揺動角度調整範囲 90° 180° 揺動時間調整範囲 sec/90° テーブル振れ精度 mm バックラッシュ（SFR-180タイプのみ） 注3 3 0.47 0.35 1.3 3.7 200 230 40 30 0.7 － 項目 SFRT-3 10 1.44 1.08 6.3 9.1 350 430 50 60 0.9 90°±5° 180°±5° 0.03 － SFRT-10 20 2.71 2.03 9.6 19.4…
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REDUCE EL PROCESO DE INSPECCIÓN EN UN 30% CON LA FUNCIÓN DE LECTURA DE CARRERA ⇒ Reduce la carga de trabajo mediante la simplificación del proceso de inspección ⇒ Elimina el costoso e innecesario procesador de imágenes ⇒ Mejora la productividad mediante el proceso de inspección inmediata durante el transporte BIBUS Spain www.bibus.es info@bibus.es 986 247 286 Carcasa y resina de color negro Difícil de juzgar por el procesador de imagen Detención de la línea para inspección visual El LSHM-HP2 es una pinza eléctrica con lectura de carrera que incorpora un sensor LVDT para determinar las…
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REDUCE EL PROCESO DE INSPECCIÓN EN UN 30% CON LA FUNCIÓN DE LECTURA DE CARRERA ⇒ Reduce la carga de trabajo mediante la simplificación del proceso de inspección ⇒ Elimina el costoso e innecesario procesador de imágenes ⇒ Mejora la productividad mediante el proceso de inspección inmediata durante el transporte BIBUS Spain www.bibus.es info@bibus.es 986 247 286 Carcasa y resina de color negro Difícil de juzgar por el procesador de imagen Detención de la línea para inspección visual El LSHM-HP2 es una pinza eléctrica con lectura de carrera que incorpora un sensor LVDT para determinar las…
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La velocidad de desplazamiento y agarre no se puede fijar de diferentes formas La fuerza de la pinza no se puede ajustar, pudiendo causar daños durante la manipulación de piezas No se puede usar una sola pinza para piezas de distinto tamaño PINZA ELÉCTRICA DE DOS DEDOS PARA UN AGARRE SUAVE EN MÚLTIPLES POSICIONES ⇒ Realiza los movimientos sin ocasionar daños ⇒ Gracias al posicionamiento múltiple, se puede usar con diferentes productos ⇒ Requiere menos tiempo de configuración BIBUS Spain www.bibus.es info@bibus.es 986 247 286 PINZA ELÉCTRICA SERIE FLSH Se trata de una pinza eléctrica que se…
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La velocidad de desplazamiento y agarre no se puede fijar de diferentes formas La fuerza de la pinza no se puede ajustar, pudiendo causar daños durante la manipulación de piezas No se puede usar una sola pinza para piezas de distinto tamaño PINZA ELÉCTRICA DE DOS DEDOS PARA UN AGARRE SUAVE EN MÚLTIPLES POSICIONES ⇒ Realiza los movimientos sin ocasionar daños ⇒ Gracias al posicionamiento múltiple, se puede usar con diferentes productos ⇒ Requiere menos tiempo de configuración BIBUS Spain www.bibus.es info@bibus.es 986 247 286 PINZA ELÉCTRICA SERIE FLSH Se trata de una pinza eléctrica que se…
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244 245 4SA/B0 4SA/B1 4GA/B MN4GA/B 4TB 4KA/B 4F 3MA/B0 3PA/B P/M/B 4F**0E SKH 4L2-4/ LMF0 PV5/ CMF 4GA/B (master) MN3S0/ MN4S0 Uniwire system NP/NAP/ NVP HMV/ HSV PCD/ FS/FD 3, 5 p o rt p ilo t o p erated valve B lock m anifold Appearance/Series Electric connection Model Position No. of solenoid JIS symbol Valve faculty Effective sectional area (2-position) (mm2) Applicable cylinder bore size Bo dy p or tin g Su b ba se p or tin g In di vi du al w iri ng m an ifo ld Voltage (V) AC100 * 1 DC24 DC12 Solenoid position Port A/B Electric connection S el ec tio n pa ge N or m al ly c lo se d N or m…
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